Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1997.10a
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Pages.39-39
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1997

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

A Novel Anti-Reflective Layer for Metal Layer Patterning

금속막 패턴닝을 위한 새로운 반사방지막 구조

차한선 (한국전자통신연구원) ;
김종수 (한국전자통신연구원) ;
최상수 (한국전자통신연구원) ;
정해빈 (한국전자통신연구원) ;
안진호 (한양대학교)

Published : 1997.10.01

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Abstract

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