새로운 구조의 금속 유도 측면 결정화에 의한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구

A study on the fabrication of poly-Si TFTs by a new structure metal induced lateral crystallization method

  • 인태형 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 1997.05.01