PZT 박막을 이용한 미세구동 소자의 제작에 관한 연구

A Study on the Fabrication of the Microactuated Devices by PZT Thin Films

  • 김광호 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 이유진 (LG 반도체) ;
  • 이병일 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 공과대학 재료공학부)
  • 발행 : 1997.05.01