한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

BST 박막의 누설전류 및 유전특성 향상을 위한 2단계 증착법에 관한 연구

An Investigation of Two Step Deposition Method for the Improvement of leakage Current and Dielectric Property of BST Thin Film

  • 길덕신 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 1997.05.01
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