HVPE법으로 AlN/Si 위에 성장한 GaN의 특성

Growth and Properties of GaN on AlN/Si by HVPE Method

  • 이영주 (대전산업대학교 재료공학과) ;
  • 강현기 (대전산업대학교 재료공학과) ;
  • 박성철 (대전산업대학교 재료공학과) ;
  • 정해연 (대전산업대학교 재료공학과) ;
  • 김선태 (대전산업대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1997.05.01