Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1997.05a
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Pages.31-31
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1997

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Formation of aluminum nitride on sapphire surface using plasma activated nitrogen source

Plasma로 활성화된 질소원자를 사용한 sapphire 표면의 Aluminum Nitride 형성

이지면 (광주과학기술원) ;
백종식 (광주과학기술원) ;
김경국 (광주과학기술원) ;
김동준 (광주과학기술원) ;
김효근 (광주과학기술원) ;
박성주 (광주과학기술원)

Published : 1997.05.01

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Abstract

Keywords