한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

스퍼터링법으로 증착된 W박막의 미세구조

Microstructure of sputter deposited tungsten thin films for X-ray mask

  • 장철민 (금오공과대학교 재료공학과) ;
  • 최병호 (금오공과대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1997.05.01
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