Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.25-25
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- 1997
The effect of surfactants in NH$_4$ OH on silicon surfaces and particle removal
계면 활성제 첨가한 암모니아수의 실리콘 웨이퍼와의 반응 및 세정 효과
Abstract
Keywords