한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

$P^{+}$Buried Layer 형성시 발생하는 Threading Dislocation 제거기술에 관한 연구

Elimination of Threading Dislocations Generated by $P^{+}$Buried Layer Formation

  • 허태훈 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 장윤택 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 오재근 (현대전자 메모리연구소) ;
  • 이길호 (현대전자 메모리연구소) ;
  • 조병진 (현대전자 메모리연구소) ;
  • 김종철 (현대전자 메모리연구소)
  • 발행 : 1997.05.01
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