Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.16-16
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- 1997
A Study on Chemical Vapor Deposition of Ti$Si_{2}$ by $Til_{4}$
$Til_{4}$ 를 이용한 Ti$Si_{2}$ 화학기상증착에 관한 연구
Abstract
Keywords