Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1997.05a
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Pages.12-12
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1997

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Redistribution of dopant by silicidation treatment in Co/M/(100)Si

Co/M/(100)Si에서의 dopant의 열처리에 따른 재분포

권영재 (인하대학교 금속공학과) ;
이종무 (인하대학교 금속공학과) ;
배대록 (삼성전자) ;
강호규 (삼성전자)

Published : 1997.05.01

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Abstract

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