Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.11-11
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- 1997
Study on the formation mechanism and electrical characteristics of epitaxial Co$Si_{2}$ by rapid thermal annealing in Co/Ti/Si(100) system
급속 열처리시 Co/Ti/Si(100)계를 이용한 정합 Co$Si_{2}$ 형성기구 및 전기적 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords