한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

초소형 경통계에 의한 SEM의 제작(1)

  • 이상훈 (서울시립대학교 제어계측공학과) ;
  • 최창훈 (서울시립대학교 제어계측공학과) ;
  • 최재혁 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 김송관 (서울시립대학교 제어계측공학과) ;
  • 김흥복 (서울시립대학교 제어계측공학과) ;
  • 박선우 (서울시립대학교 제어계측공학과)
  • 발행 : 1997.07.01
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