한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Design and Characterization of Self-Ions Bombarded Electron Beam Gun with High Flux and High Deposition Rates

  • 이충만 (과학기술연구원 세라믹스부) ;
  • 최성창 (과학기술연구원 세라믹스부) ;
  • 조원일 (과학기술연구원, 화공연구부) ;
  • 송종한 (과학기술연구원, 특성분석센타) ;
  • 최원국 (과학기술연구원 세라믹스부)
  • 발행 : 1997.07.01
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