Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Ion Beam Spputtering 방법에 의한 Transpparent electrode용 ZnO Film 연구

  • 박용욱 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 최성창 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 윤석진 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 고석근 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 김현재 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 박창엽 (연세대학교 전기공학과)
  • Published : 1997.07.01
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Abstract

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