Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1997.07a
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- Pages.65-65
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- 1997
반응성 DC Magnetron Spputtering으로 제작한 $SnO_2$ 박막의 Sb doppant가 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향
- Jung, Hae-Won ;
- Lee, Chun ;
- Shin, Jae-Hyuk ;
- Song, Guk-Hyun ;
- Shin, Sung-Ho ;
- Park, Jung-Il ;
- Park, Gwang-Ja
- 정해원 (인하대학교 전자.전기.컴퓨터공학부) ;
- 이천 (인하대학교 전자.전기.컴퓨터공학부) ;
- 신재혁 (국립기술품질원 무기화학과) ;
- 송국현 (국립기술품질원 무기화학과) ;
- 신성호 (국립기술품질원 무기화학과) ;
- 박정일 (국립기술품질원 무기화학과) ;
- 박광자 (국립기술품질원 무기화학과)
- Published : 1997.07.01
Abstract
Keywords