초고진공 전자공명 화학기상증착법을 이용한 SiGe/Si 초격자 구조의 성장

  • 주성재 (서울대학교 재료공학부 및 반도체공동연구소) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공학부 및 반도체공동연구소)
  • Published : 1997.07.01