Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Remote Plasma Enhanced-Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Depposition (RPE-UHVCVD) 법을 이용한 GaN의 저온성장에 관한 연구

  • 김동준 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 김경국 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 백종식 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 이민수 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 노도영 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 김효근 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 1997.07.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords