Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1997.02a
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- Pages.229-229
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- 1997
두 개의 증발원을 이용한 이온플레이팅법에 의해 제조된 (Ti$_{1-x}Al_x$ )N 박막의 증착속도와 Al의 양이 박막의 구조 및 기계적 성질에 미치는 영향
Abstract
Keywords