Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Anisotropic Poly-Silicon Etch With $Cl_2/CH_3Br$

  • 이휘건 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹) ;
  • 이재봉 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹) ;
  • 윤석훈 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹) ;
  • 김충환 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹) ;
  • 곽규환 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹)
  • Published : 1997.02.01
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Abstract

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