Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A Study of the reaction of MOCVD TiN with $SiO_2$

$SiO_2$ 기판 위에서의 MOCVD TiN 반응성에 관한 조사

  • 오상헌 (국민대학교 금속재료공학과 반도체공정연구실) ;
  • 김지용 (국민대학교 금속재료공학과 반도체공정연구실) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과 반도체공정연구실) ;
  • 한상엽 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 박기철 (국민대학교 금속재료공학과 반도체공정연구실) ;
  • 김재호 ((주)아팩스) ;
  • 박상준 ((주)아팩스)
  • Published : 1997.02.01
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Abstract

Keywords