Poly-Si TFT의 누설 전류 발생 원인 분석

  • 김칠하 (오리온전기(주) 종합연구소 평판연구실) ;
  • 박승식 (오리온전기(주) 종합연구소 평판연구실) ;
  • 신동기 (오리온전기(주) 종합연구소 평판연구실) ;
  • 이행기 (경북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 이명진 (경북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 강병섭 (경북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 손기수 (경북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 김석환 (안동대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 장진 (경희대학교 물리학과)
  • Published : 1997.02.01