Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1997.02a
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- Pages.49-49
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- 1997
Poly-Si TFT의 누설 전류 발생 원인 분석
- Kim, Chil-Ha ;
- Park, Seung-Sik ;
- Shin, Dong-Gi ;
- Lee, Haeng-Gi ;
- Lee, Myung-Jin ;
- Kang, Byung-Sub ;
- Son, Gi-Su ;
- Kim, Suk-Hwan ;
- Jang, Jin
- 김칠하 (오리온전기(주) 종합연구소 평판연구실) ;
- 박승식 (오리온전기(주) 종합연구소 평판연구실) ;
- 신동기 (오리온전기(주) 종합연구소 평판연구실) ;
- 이행기 (경북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
- 이명진 (경북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
- 강병섭 (경북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
- 손기수 (경북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
- 김석환 (안동대학교 자연과학대학 물리학과) ;
- 장진 (경희대학교 물리학과)
- Published : 1997.02.01
Abstract
Keywords