Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1997.02a
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- Pages.39-40
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- 1997
UHVECRCVD에 의한 $600^{\circ}C$ 에서의 Si(100) 표면의 carburization 및 ${\beta}$ -SiC 형성
Abstract
Keywords