Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Si(100), Si(111) 기판위에 RF-magnetron spputtering법으로 성장된 $CeO_2$박막의 특성

  • 장선희 (성균관대학교 물리학과 박막연구실) ;
  • 정동근 (성균관대학교 물리학과 박막연구실)
  • Published : 1997.02.01
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