Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1997.02a
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- Pages.31-31
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- 1997
Microcrystalline oxide incorporated diffusion barrier for DRAM/FRAM capacitor electrode
DRAM/FRAM capacitor electrode에서 산화물이 도입된 확산방지막특성에 관한 연구
Abstract
Keywords