대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 C
- /
- Pages.1226-1228
- /
- 1997
레이저 어블레이션에 의한 다성분 박막의 방향성 제어 연구
Study on control of orientation of multicomponent thin film by laser ablation
- Park, Joo-Hyung (Department of Electrical Engineering, Yonsei University) ;
- Lee, Sang-Yeol (Department of Electrical Engineering, Yonsei University)
- 발행 : 1997.07.21
초록
펄스 레이저 증착법을 이용하여 MgO 기판 위에 YBCO 박막을 c 축으로 성장시켰다. 이를 위하여 다양한 두께의 YBCO 박막을 여러 온도에서 증착시킴으로서 두께와 온도에 따른 YBCO 박막의 방향성을 조사하였다. 레이저원으로는 Nd:YAG 레이저의 355 nm의 파장을 이용하였으며, 증착시 기판온도는
키워드