Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1997.07e
- /
- Pages.1752-1754
- /
- 1997
Some Characteristics of Ion Beam Source for $\gamma$ -Coefficient Measurement of MgO Thin Film
MgO 박막의 $\gamma$ 계수 측정용 이온빔원의 시작 및 동작특성
- Jeong, Shin-Soo (Pusan National Univ. Electrical Engineering Dept.) ;
- Kim, Jun-Ho (Pusan National Univ. Electrical Engineering Dept.) ;
- Kim, Hee-Je (Pusan National Univ. Electrical Engineering Dept.) ;
- Cho, Jung-Soo (Pusan National Univ. Electrical Engineering Dept.) ;
- Park, Chung-Hoo (Pusan National Univ. Electrical Engineering Dept.) ;
- Park, Cha-Soo (Pusan National Univ. Electrical Engineering Dept.)
- 정신수 (부산대학교 전기공학과) ;
- 김준호 (부산대학교 전기공학과) ;
- 김희제 (부산대학교 전기공학과) ;
- 조정수 (부산대학교 전기공학과) ;
- 박정후 (부산대학교 전기공학과) ;
- 박차수 (부산대학교 전기공학과)
- Published : 1997.07.21
Abstract
The Kaufman type ion beam source with focusing lens was prepared to measure
Keywords