한국가스학회:학술대회논문집
- 한국가스학회 1997년도 추계학술발표회 논문집
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- Pages.292-301
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- 1997
반도체공정에서 사용되는 재료가스의 역할과 가스공급시스템
The Role of Material Gases and Gas Supply System Applied in Semiconductor Process
- Tack Han Ju (Daesung Cryogenic Research Institute) ;
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Lee Taeck Hong
(Daesung Cryogenic Research Institute)
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- Park Doo Seon (Daesung Cryogenic Research Institute) ;
- Son Moo Ryong (Daesung Cryogenic Research Institute)
- 발행 : 1997.09.01