Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Characteristics Estimation of P-doped Poly-Si/Sacrificial Layer for MEMS

P첨가에 따른 MEMS 재료의 특성 평가

  • 임종현 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 신경식 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 이성준 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 김철주 (서울시립대학교 전자공학과)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

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