Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1996.11a
- /
- Pages.114-114
- /
- 1996
A Study on stress effect in poly-Si thin film transistors fabricated by metal induced lateral crystallization
금속 유도 측면 결정화법에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 스트레스 효과에 대한 연구
Abstract
Keywords