Fabrication of Large Grain Sized Polycrystalline Silicon Films by Si$O_{2}$/a-Si Nucleation-interface-Control

Si$O_{2}$/a-Si 핵생성 계면제어에 의한 조대한 다결정 실리콘 박막의 제조

  • 정세진 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 황의훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • Published : 1996.11.01