Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Resistivity, step coverage and barrier property of TiN films prepared by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition

ECR 플라즈마 기상화학 증착법에 의해 증착된 TiN 박막의 비저항, 피복성 및 확산 방지 특성에 관한 연구

  • 김종석 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 장성수 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이수정 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 백종태 (한국전자통신연구소)
  • Published : 1996.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords