Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1996.11a
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- Pages.75-75
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- 1996
A study on the adhesion and the wear properties of TiN film deposited by reactive magnetron sputter ion plating
반응성 마그네트론 스퍼터 이온 플레이팅법으로 증착된 TiN 박막의 접착력 및 마모 특성
Abstract
Keywords