Dependence of CoSi$_2$ Thermal Stability on Substrates

기판에 따른 CoSi$_2$의 열적안정성

  • 심현상 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 구본철 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김종렬 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1996.11.01