Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Electric Properties of PLZT Thin Films Prepared Using ECR PECVD method for the Charge Storage Capacitor of a High Density Memory

ECR PECVD법으로 제조한 고접적 메모리 소자 charge storage capacitor용 PLZT 박막의 전기적 특성

  • 신중식 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 정수옥 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 천성순 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1996.11.01
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