Fatigue and retention properties of ferroelectric Pb(Zr,Ti)O$_3$thin films on RuO$_2$bottom electrode

RuO$_2$ 박막위에 입힌 Pb(Zr, Ti)O$_3$강유전체 박막의 피로 및 retention 특성

  • 홍석경 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 신주철 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 양홍근 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1996.11.01