한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

RF Sputtering에 의한 SrTiO$_3$ 박막의 특성 개선

The improvement of characteristics of SrTiO$_3$ thin films by RF magnetron sputtering

김상훈 (한양대학교 재료공학과) ;
백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
이은성 (한양대학교 재료공학과) ;
박치선 (한서대학교 전자공학과) ;
마재평 (호남대학교 전자공학과)

발행 : 1996.11.01

PDF

PDF 다운로드

⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드