Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1996.11a
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Pages.54-54
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1996

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

The improvement of characteristics of SrTiO$_3$ thin films by RF magnetron sputtering

RF Sputtering에 의한 SrTiO$_3$ 박막의 특성 개선

김상훈 (한양대학교 재료공학과) ;
백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
이은성 (한양대학교 재료공학과) ;
박치선 (한서대학교 전자공학과) ;
마재평 (호남대학교 전자공학과)

Published : 1996.11.01

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Abstract

Keywords