A study on electrical properties of BST film deposited on RuO$_2$ electrode with various $O_2$/Ar ratio

RuO$_2$ 하부전극 상에 증착된 BST박막의 $O_2$/Ar비 변호에 따른 전기적 특성 고찰

  • 이공수 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 원진희 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 마재평 (호남대학교 전자공학과)
  • Published : 1996.11.01