Surface acoustic wave properties of ZnO thin films deposited on diamond substrates

다이아몬드 기판상에 증착된 ZnO 압전박막의 탄성표면파 특성

  • 김영진 (경기대학교 재료공학과) ;
  • 정영호 (경기대학교 재료공학과) ;
  • 박종철 (전자부품종합기술연구소) ;
  • 양형국 (전자부품종합기술연구소) ;
  • 김진용 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 이용의 (서울대학교 무기재료공학) ;
  • 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1996.05.01