전자선 증착법을 이용한 Li 이차 박막전지의 $LiCoO_2$ 박막양극의 제조

Fabrication of Thin Film $LiCoO_2$ Cathode for Solid State Rechargeable Lithium Microbattery by Electron Beam Evaporation

  • 발행 : 1996.05.01