전자선 증발법을 이용한 Li 이차 박막의 $LiCo_{0.5}Ni_{0.5}O_2$ 박막 양극의 제조

Fabrication of thin film $LiCo_{0.5}Ni_{0.5}O_2$ cathode for Li rechargeable microbattery by electron beam evaporation method

  • 발행 : 1996.05.01