Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Dielectric Etching using High Density Plasma

고밀도 플라즈마를 이용한 절연막 식각

  • 김유창 (현대전자 메모리 연구소) ;
  • 정진기 (현대전자 메모리 연구소) ;
  • 설여송 (현대전자 메모리 연구소) ;
  • 백기호 (현대전자 메모리 연구소)
  • Published : 1996.05.01
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Abstract

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