IMDS에 의한 Pt 박막의 건식식각 공정에 관한 연구

A Study on Dry Etching Process of Pt Thin Film by IMDS

  • 이유진 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 이병일 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 금속공학과)
  • 발행 : 1996.05.01