한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 1996년도 재료학회 춘계학술발표회
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- Pages.62-62
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- 1996
$4^{\circ}$ off-axis Si(100)와 on-axis Si(100) 기판위에서의 Ti 실리사이드상 형성
Phase Formation of Titanium Silicide on the $4^{\circ}$ Off-axis and On-axis Si(100) substrates
- 발행 : 1996.05.01