Co/Ti/Si계를 이용한 정합 $CoSi_2$형성시 삼원계 화합물을 통한 Co 확산 제어에 관한 연구

Study on the control of Co flux through ternary compound for the formation of epitaxial $CoSi_2$ using Co/Ti/Si system

  • 발행 : 1996.05.01