한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

유기실리콘화합물 원료를 이용한 $\beta$-Sic 단결성 박막 성장 및 버퍼층의 역할

The Role of Buffer Layer and Deposition of Heteroepitaxial $\beta$-Sic Thin Films using Organosilicon Precursor

  • 방욱 (서울대학교 재료공학부 무기재료전공) ;
  • 최연식 (서울대학교 재료공학부 무기재료전공) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부 무기재료전공)
  • 발행 : 1996.05.01
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