Deposition of Diamond Like Carbon Using Hige Voltage(RPCVD)

고전압 RPCVD에 의한 다이아몬드성 탄소박막의 증착

  • 강영태 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 이병일 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 금속공학과)
  • Published : 1996.05.01