Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Improvement of MOCVD TiN quality by using post-treatment

후공정 처리에 의한 MOCVD TiN 막질 개선

  • 오상헌 (국민대학교 금속재료공학과 반도체공정연구실) ;
  • 김지용 (국민대학교 금속재료공학과 반도체공정연구실) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과 반도체공정연구실)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

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