Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1996.05a
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Pages.44-44
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1996

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Comparision of SiN film properties prepared by LPCVD, PECVD, and ECR Plasma CVD

LPCVD, PECVD, ECR Plasma CVD를 이용한 SiN막질의 비교

이태호 (한양대학교 재료공학과) ;
이규한 (한양대학교 재료공학과) ;
이승윤 (한양대학교 재료공학과) ;
정창영 (한양대학교 재료공학과) ;
안진호 (한양대학교 재료공학과)

Published : 1996.05.01

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Abstract

Keywords